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美國API激光干涉儀信息
點擊次數(shù):164 更新時間:2025-08-18 打印本頁面 返回

一、核心組成與測量原理

主要部件:由穩(wěn)頻激光器、干涉鏡和 6D 傳感器構(gòu)成,整體體積小、重量輕,可直接安裝在機床導軌上,適配性較強。

測量邏輯:激光光束經(jīng)干涉后,被 6D 傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束。其中一束經(jīng)角反射棱鏡反射后,與參考光束干涉產(chǎn)生條紋,通過光學相位探測器識別并電子計數(shù),實現(xiàn)長度位置的精準記錄;另一部分光作為直線度測量的參考,結(jié)合傳感器與參考光束的相對關(guān)系完成相關(guān)參數(shù)測量。

二、穩(wěn)定性保障設(shè)計

結(jié)構(gòu)與激光器優(yōu)化

從結(jié)構(gòu)設(shè)計到激光器選擇均經(jīng)過周密考量,目的是將橫向和角度漂移量降至低,從而確保測量儀的長期穩(wěn)定性,減少因設(shè)備自身漂移導致的誤差。

環(huán)境補償機制

配備自動氣壓、環(huán)境溫度補償器,可實時校正環(huán)境變化(如溫度、氣壓波動)對激光波長及長度測量的影響,避免環(huán)境因素干擾測量精度。

抗干擾濾波

專用的多重數(shù)字濾波器能有效降低空氣波動、溫度梯度等外界因素引起的測量誤差,進一步提升數(shù)據(jù)的可靠性。


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